LWR1000系列是通过检测探头表面热量在气体流场中的损失,LWR1000系列热式质量流量计实现了对气体质量流量的高精度测量。传感器包含了两个具有质量平衡特性的探头元件,探头元件使用了高性能的RTD,参考端探头的RTD用来测量气体温度(最高达500℃,这相当于932T),工作端探头的RTD用来测量加热元件的温度。通过改变加热器的温度,使工作端与参考端维持恒定的温差。加热器功率和气体质量流量是非线性的关系,LWR1000的微处理器会将功率和标定曲线进行拟合,并转换为相应的质量流量,同时测出介质的温度,对流量进行温度补偿。